半导体设备解决方案

半导体设备解决方案

基于 Kithara 硬实时系统 + KRmotion 软运动控制架构,专为晶圆切割、光刻、键合、固晶、探针检测、封装分选半导体设备打造纳米级超高精密、低振动、高洁净、毫秒级同步运动控制方案,替代进口高端运动控制系统,大幅降低半导体设备研发量产成本,开放SDK支持半导体工艺深度定制。
  • 适用设备晶圆切割机、固晶机、键合机、探针台、光刻机、封装分选设备、薄膜沉积设备
  • 控制架构PC-Based精密软运动控制、Windows微秒硬实时、EtherCAT高速实时总线
  • 控制能力纳米级重复定位、超低速平稳进给、多轴同步跟随、高速高响应、微振动抑制
  • 核心优势超高精密定位、洁净低震、开放工艺开发、高实时同步、国产替代高性价比

方案概述

半导体制造设备对运动定位精度、振动抑制、同步响应、长时间稳定运行有着极致严苛标准,海外专用运动控制系统价格高昂、闭源锁工艺、定制改造限制多。易码智能半导体专用运动控制方案采用工业PC硬实时软件架构,搭载纳米级插补与抑振算法,支持高精度微量进给、高速晶圆搬运、多视觉联动定位,可对接真空、洁净、温控半导体产线环境,完整覆盖前道光刻薄膜、中道晶圆切割探针、后道封装分选全流程设备开发改造。

系统架构

半导体设备整体系统架构图

核心方案优势

典型应用场景

落地服务支持

提供半导体设备运动控制整体选型、洁净架构设计、精密运动算法调试、晶圆/封装工艺程序开发、样机联调、批量产线适配全套技术服务,支持全新半导体设备定制开发、进口设备国产化电控改造,提供长期工艺培训与专属售后技术支撑。

整套方案组成

文件名称 资料分类 文件格式 日期 操作
半导体设备运动控制方案白皮书 方案资料 PDF 2026-06-15
半导体精密运动控制技术配套手册 技术手册 PDF 2026-06-15
实时系统平台 Kithara RealTime Suite 汽车产线集群硬实时套件
运动控制内核 KRmotion 汽车产线专用多轴集群运动控制内核
硬件平台 EK7000/EK9000系列多轴集群PAC工业控制主机
通讯总线 EtherCAT 纳秒级多设备同步实时总线
支持控制规模 单主机4~32轴伺服,可联动多台六轴机器人协同工作
控制周期 62.5us / 125us 可选,集群同步波动<1us
核心功能 长行程桁架抑振、机器人焊接轨迹、积放链输送、工位安全互锁、MES数据对接、多车型程序切换
二次开发 完整C/C++ SDK,支持产线可视化、柔性工艺、故障预警、数据追溯系统开发

落地服务支持

提供汽车整车及零部件自动化产线全套控制方案选型、集群实时架构设计、桁架/机器人运动算法调试、产线柔性程序开发、现场整线联调、批量投产适配全流程技术服务,支持全新汽车自动化产线配套、老旧进口产线电控国产化改造,提供长期产线运维培训与专属售后技术支撑。

文件名称 资料分类 文件格式 日期 操作
汽车制造自动化运动控制方案白皮书 方案资料 PDF 2026-06-20
汽车四大工艺产线控制技术配套手册 技术手册 PDF 2026-06-20