半导体制造设备对运动定位精度、振动抑制、同步响应、长时间稳定运行有着极致严苛标准,海外专用运动控制系统价格高昂、闭源锁工艺、定制改造限制多。易码智能半导体专用运动控制方案采用工业PC硬实时软件架构,搭载纳米级插补与抑振算法,支持高精度微量进给、高速晶圆搬运、多视觉联动定位,可对接真空、洁净、温控半导体产线环境,完整覆盖前道光刻薄膜、中道晶圆切割探针、后道封装分选全流程设备开发改造。
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